广州东锐科技有限公司

产品简介

日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。

①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察

■ 样品台可搭载超大/超重样品

· 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品

· 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率

· 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*

· 红外CCD探测器，提高了样品台移动的安全性

■ 支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察

· 与GUI联合，可配备样品仓室导航相机

· 覆盖整个可观察区域

· 支持360度旋转

②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化。

■ 一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI

■ 各种自动化功能

· 自动调整算法经改良后，等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

· 提高了自动聚焦精度

· 搭载Intelligent Filament Technology（IFT）

■ Multi Zigzag，可实现多区域的大视野观察

■ Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告

③可提供满足测试需求的应用解决方案

■ 可满足多种观察需求的探测器

· 搭载高灵敏度UVD*，支持CL观察

· 高灵敏度半导体式背散射电子探测器，切换成分/凹凸等多种图像

■ 配备了多功能超大样品仓，可以搭载多种配件

■ SEM/EDS一体化功能*

■ 三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*

■ 支持图像测量软件Image pro

产品参数

ITEM		SU3800	SU3900
二级电子分解能		3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式）
		15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射电子分解能		4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
		×7～×800,000（实际显示倍率*2）
加速电压		0.3kV～30kV
低真空度设定		6～650 Pa
图像位移		±50µm（WD＝10mm）
最大样品尺寸		200mm直径	300mm直径
样品台	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°连续
	T	－20°～+90°
	最大可观察范围	130mm直径（R并用）	200mm直径（R并用）
	最大可观察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	电机驱动	5轴电机驱动
电子光学系统	电子枪	中心操控式钨丝发射
	物像镜头光圈	4孔可动光圈
	检测系统	二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
图像显示	自动光轴调整功能	自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自动光轴调整（实时级别对齐）
		自动调整光束亮度
	自动图像调整功能	自动亮度和对比度控制（ABCC）
		自动对焦控制（AFC）
		自动标记和焦点功能（ASF）
		自动灯丝饱和度调整（AFS）
		自动光束对准（ABA）
		自动启动（HV-ON→ABCC→AFC）
操作辅助功能		光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能
配件		■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成
配件（外部装置）		能量散射X射线分析仪（EDS）、波长色散X射线分析仪（WDS）、各种外部功能台（加热台、冷却台、牵引台）

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产品简介

①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察

②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化。

③可提供满足测试需求的应用解决方案

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