随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。
超高分辨成像:日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下,也可获得超高分辨的图像。
先进的自动化功能:EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
灵活的用户界面:原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。1,2,4 或6通道信号可在同一个显示器上同时显示,可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间,可定制的用户界面以提高工作效率。
机型 |
SU8600 系 |
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电子光学系统 |
二次电子像分辨率 |
0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * |
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放大倍率 |
20 to 2,000,000 x |
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电子枪 |
冷场发射电子源,支持柔性闪烁功能,包含阳极烘烤系统。 |
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加速电压 |
0.5 to 30 kV |
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着陆电压 * |
0.01 to 20 kV |
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探测器 |
(部分为选配项) |
上探测器(UD) |
UD ExB能量过滤器,包含SE/BSE信号混合功能 |
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下探测器(LD) |
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顶探测器(TD) |
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TD能量过滤器 |
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镜筒内背散射电子探测器(IMD) |
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半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED) |
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新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) |
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阴极荧光探测器(CLD) |
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扫描透射探测器(STEM Detector) |
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附件 |
(部分为选配项) |
导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) |
软件 |
(部分为选配项) |
EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素) |
样品台 |
马达驱动轴 |
5轴马达驱动(X/Y/R/Z/T) |
马达驱动轴 |
X:0~110 mm |
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Y:0~110 mm |
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Z:1.5~40 mm |
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T:-5~70° |
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R:360° |
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样品室 |
样品尺寸 |
最大直径:150 mm |